EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
අර්ධ සන්නායක ක්වාර්ට්ස් වේෆර් බෝට්ටුව
ක්ෂණික විස්තර:
1. වෙනත් නම්: අර්ධ සන්නායක ක්වාර්ට්ස් ටැංකිය, අර්ධ සන්නායක සඳහා ක්වාර්ට්ස් ස්නානය, අර්ධ සන්නායක සඳහා ක්වාර්ට්ස් ටැංකිය.
2. යෙදුම: අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේදී විසරණය, ඔක්සිකරණය, CVD, ඇනීලිං වැනි ඉහළ උෂ්ණත්ව ක්රියාවලීන් සඳහා අර්ධ සන්නායක ක්වාර්ට්ස් වේෆර් බෝට්ටුව.
3. මූලික පරාමිතීන්:
අතිශය ඉහළ සංශුද්ධතා ක්වාර්ට්ස් (>99.99% SiO₂): ලෝහ අයන (Na +, K +, Fe³+, ආදිය) මගින් දූෂණය වීම වළක්වන අතර උසස් ක්රියාවලීන්හි (<5nm නෝඩ්) පිරිසිදුකම අවශ්යතා සපුරාලයි.
ඉහළ උෂ්ණත්ව ප්රතිරෝධය: අඛණ්ඩ වැඩ කරන උෂ්ණත්වය 1200℃, ක්ෂණික උෂ්ණත්ව ප්රතිරෝධය 1300℃.
රසායනිකව නිෂ්ක්රීය: HCl, H₂, O₂, SiH₄ වැනි ක්රියාවලි වායු සහ අම්ල/ක්ෂාරීය පරිසරයන්ට ප්රතිරෝධී වේ. දිගුකාලීන භාවිතය සඳහා විඛාදනයට ලක් නොවේ.
විස්තර
සෙමික්ස්ලැබ් අර්ධ සන්නායක ක්වාර්ට්ස් වේෆර් බෝට්ටු යනු අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේ දී විසරණය, ඔක්සිකරණය, CVD, ඇනීලිං වැනි ඉහළ උෂ්ණත්ව ක්රියාවලීන් සඳහා නිර්මාණය කර ඇති ප්රධාන දරණ මෙවලම් වේ. විශිෂ්ට ඉහළ උෂ්ණත්ව ප්රතිරෝධයක්, රසායනික ස්ථායිතාවයක් සහ අඩු තාප ප්රසාරණ සංගුණකයක් සහිත ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් කෘතිම ක්වාර්ට්ස් වලින් සාදන ලද එය, ක්රියාවලි අනුකූලතාව සහ නිෂ්පාදන අස්වැන්න සහතික කිරීම සඳහා දැඩි ක්රියාවලි පරිසරයන් තුළ වේෆර් ස්ථායීව රැගෙන යා හැකිය.
අදාළ උපකරණ: සියලු වර්ගවල තිරස්/සිරස් විසරණ උදුන (තිරස්/සිරස් විසරණ උදුන), LPCVD පද්ධතිය සහ වේගවත් තාප පිරියම් කිරීමේ (RTP) උපකරණ සමඟ අනුකූල වේ.
ගුණත්ව සහතිකය
දැඩි තත්ත්ව පාලනය: 100% හීලියම් ස්කන්ධ වර්ණාවලීක්ෂමිතික කාන්දු හඳුනාගැනීම (කාන්දු වීමේ අනුපාතය <1×10⁻⁹ mbar·L/s). සෑම කණ්ඩායමක් සඳහාම ද්රව්ය සංශුද්ධතා වාර්තාව (ICP-MS පරීක්ෂණය) නිකුත් කරනු ලැබේ.
සහතික කිරීමේ ප්රමිතීන්: ISO 9001:2015 තත්ත්ව කළමනාකරණ පද්ධති සහතිකය හරහා SEMI F47 පිරිවිතරයන්ට අනුකූලව.
සේවා කාලය: සාමාන්ය තත්වයන් යටතේ සාමාන්ය ආයු කාලය අවුරුදු 2 කට වඩා වැඩිය (ක්රියාවලි සංඛ්යාතය සහ උෂ්ණත්ව තත්ත්වයන් අනුව).
අපගේ ක්වාර්ට්ස් බෝට්ටුව තෝරා ගන්නේ ඇයි?
අභිරුචිකරණය කළ සේවා: උපකරණ ආකෘතිය (TEL, Kokusai, ASM, ආදිය) සහ ක්රියාවලි අවශ්යතා අනුව අභිරුචිකරණය කළ ප්රමාණය සහ ඉදිකිරීම්.
වේගවත් ප්රතිචාරය: සම්මත බෙදාහැරීමේ කාලය සති 3 කි, හදිසි ඇණවුම් වැඩ කරන දින 10 දක්වා අඩු කළ හැක.
ගෝලීය සේවා ජාලය: තාක්ෂණික උපදෙස්, ස්ථාපන මාර්ගෝපදේශ සහ අලෙවියෙන් පසු නඩත්තු සහාය ලබා දීම. ද්රව්ය පිරිවිතර.
පිරිවිතර
ව්යාපෘති පිරිවිතර
ද්රව්ය සංස්ලේෂණය විලයන ක්වාර්ට්ස්
සංශුද්ධතාවය ≥99.99% SiO₂
වේෆර් ප්රමාණයේ අනුකූලතාව 8 ", 12" (අභිරුචිකරණය කළ හැක්කේ 6" හෝ 18 ")
මෙහෙයුම් උෂ්ණත්වය ≤1200°C (අඛණ්ඩ) / 1300°C (උපරිම)
තාප ප්රසාරණ සංගුණකය (CTE) 0.55×10⁻⁶/°C (20-1000°C)
මතුපිට රළුබව (Ra) ≤0.2μm
සම්මත ධාරිතාව 25/50/100 ටැබ්ලට්
අදාළ ක්රියාවලි වායු O₂, N₂, H₂, Ar, SiH₄, HCl, ආදිය
| යාන්ත්රික දේපල | ඝනත්වය (g/cm3) | 2.2 |
| මෝහ්ස් දෘ ness තාව | 6-7 | |
| සම්පීඩ්යතා ශක්තිය (MPa) | 1100 | |
| ආතන්ය ශක්තිය (N/mm)2) | 50 | |
| නම්යශීලී ශක්තිය (N/mm)2) | 65 | |
| ව්යවර්ථ ශක්තිය (N/mm)2) | 30 | |
| යංගේ මාපාංකය (MPa) | 7.2x104 | |
| Poisson අනුපාතය | 0.16 | |
| තාප ගුණාංග | තාප ප්රසාරණ සංගුණකය (20~320℃,k)-1) | 5.5x10-7 |
| තාප සන්නායකතාවය (20℃,W·m-1k-1) | 1.4 | |
| නිශ්චිත තාපය (20℃, J·kg-1k-1) | 670 | |
| මෘදු කිරීමේ ලක්ෂ්යය (℃) | 1700 | |
| උත්පාදක ලක්ෂ්යය (℃) | 1180 | |
| වික්රියා ලක්ෂ්යය (℃) | 1080 | |
| විදුලි දේපල | විද්යුත් ප්රතිරෝධකතාව (Ω)·m) | 1x1016(20 ℃) |
| ද්වි විද ත් නියතය (10GHz) | 3.74 | |
| ද්වි විද ත් අලාභය (10GHz) | 0.0002 | |
| ද්වි විද ත් ශක්තිය (V)·m-1) | 3.7x107 |
අයදුම්පත්
ඉහළ උෂ්ණත්ව ඔක්සිකරණය/විසරණය: සිලිකන් මාත්රණය (පොස්පරස්, බෝරෝන් විසරණය), ද්වාර ඔක්සයිඩ් වර්ධනය.
තුනී පටල තැන්පත් වීම: LPCVD බහු ස්ඵටික සිලිකන්, සිලිකන් නයිට්රයිඩ් (Si₃N₄) තැන්පත් වීම.
ඇනීලිං ක්රියාවලිය: අයන බද්ධ කිරීමෙන් පසු ඇනීලිං කිරීම (RTA), ලෝහ මිශ්ර ලෝහකරණය.
තුන්වන පරම්පරාවේ අර්ධ සන්නායක: සිලිකන් කාබයිඩ් (SiC), ගැලියම් නයිට්රයිඩ් (GaN) එපිටැක්සි ක්රියාවලිය.
තරගකාරී වාසි
1. ද්රව්ය ලක්ෂණ
අතිශය ඉහළ සංශුද්ධතා ක්වාර්ට්ස් (> 99.99% SiO₂): ලෝහ අයන (Na +, K +, Fe³ +, ආදිය) මගින් දූෂණය වීම වළක්වන අතර උසස් ක්රියාවලීන් (<5nm නෝඩ්) සඳහා පිරිසිදුකම අවශ්යතා සපුරාලයි.
ඉහළ උෂ්ණත්ව ප්රතිරෝධය: අඛණ්ඩ ක්රියාකාරී උෂ්ණත්වය 1200°C, ක්ෂණික උෂ්ණත්ව ප්රතිරෝධය 1300°C, විරූපණය හෝ ස්ඵටිකීකරණ අවදානමක් නොමැත.
රසායනික නිෂ්ක්රීයතාව: HCl, H₂, O₂, SiH₄ වැනි ක්රියාවලි වායු සහ අම්ල/ක්ෂාරීය පරිසරයන්ට ඔරොත්තු දෙයි. දිගුකාලීන භාවිතයේදී විඛාදනයට ලක් නොවේ.
2. නිරවද්ය නිර්මාණය
ව්යුහය ප්රශස්ත කරන්න:
ස්ලොට් පරතරයේ නිරවද්යතාවය ± 0.05mm වන අතර, නිවැරදි වේෆර් ස්ථානගත කිරීම (අඟල් 8/12) සහතික කරන අතර සීරීම් හෝ විස්ථාපනය වළක්වයි.
තාප කම්පන ප්රතිරෝධී නිර්මාණය, වේගවත් නැගීම සහ වැටීමට අනුවර්තනය වීම (උණුසුම් අනුපාතය ≤20°C/min).
අඩු අංශු සෑදීම: අංශු බැඳීම සහ වැටීම අඩු කිරීම සඳහා මතුපිට අතිශය නිරවද්යතාවයෙන් ඔප දමා ඇත (Ra ≤0.2μm).
3. විවිධාංගීකරණය වූ වින්යාසය
ධාරිතාව විකල්ප: කෑලි 25, කෑලි 50, කෑලි 100 සහ අනෙකුත් සම්මත පිරිවිතර සඳහා සහය දක්වන්න, සම්මත නොවන තව් අංකය ද අභිරුචිකරණය කළ හැකිය.
වර්ගය අනුවර්තන: විවෘත බෝට්ටුව, සංවෘත බෝට්ටුව හෝ විශේෂ බෝට්ටු වර්ගය (බෝට්ටුවේ පතුල හැරවුම් නාලිකා නිර්මාණය වැනි).
නිති අසන පැණ
Q1: ඔබට සම්මත නොවන ප්රමාණය හෝ විශේෂ නිර්මාණයක් ලබා දිය හැකිද?
A1: ප්රමාණය ගැලපීම, උෂ්ණත්ව ඉහළ සීමාව (ද්රව්ය උත්ශ්රේණි කිරීම අවශ්ය වේ) හෝ අතුරුමුහුණත් වර්ගය ඇතුළුව අභිරුචි සේවා සඳහා Semixlab සහාය දක්වයි. නිශ්චිත අවශ්යතා සඳහා කරුණාකර Semixlab හි තාක්ෂණික කණ්ඩායම අමතන්න.
Q2: ඉදිරි කාලය කොපමණ කාලයක්ද?
A2: සම්මත නිෂ්පාදන සඳහා බෙදා හැරීමේ කාලය සති 4-6 ක් වන අතර අභිරුචි නිෂ්පාදන සඳහා සැලසුම් සහ සත්යාපන කාලය සති 2-3 කි.
Q3: ඔබ අලෙවියෙන් පසු තාක්ෂණික සහාය ලබා දෙනවාද?
A3: ඔව්, අපි ජීවිත කාලය පුරාම තාක්ෂණික උපදේශන සහ හදිසි ප්රතිචාර සේවා සපයන්නෙමු. ස්ථාපනය හෝ භාවිතය පිළිබඳ ගැටළු ඇති වුවහොත්, සහාය කණ්ඩායම ඕනෑම වේලාවක විද්යුත් තැපෑලෙන් හෝ දුරකථනයෙන් සම්බන්ධ කර ගත හැක.
Q4: නිෂ්පාදිතය අර්ධ සන්නායක කර්මාන්ත ප්රමිතීන්ට අනුකූලද?
A4: ඔව්, නිෂ්පාදන ක්රියාවලිය SEMI ප්රමිතීන්ට අනුකූල වන අතර ISO 9001 තත්ත්ව කළමනාකරණ පද්ධතිය මගින් සහතික කර ඇත. කර්මාන්ත ශාලාවෙන් පිටවීමට පෙර සෑම කණ්ඩායමක්ම වායු තද බව, උෂ්ණත්ව ප්රතිරෝධය සහ සංශුද්ධතාවය සඳහා පරීක්ෂා කරනු ලැබේ.
