MOCVD SiC ආලේපිත ග්‍රැෆයිට් සසෙප්ටරය

1. ආයු කාලය 300%+ කින් දීර්ඝ කර ඇත

බෆර් ස්ථර තාක්ෂණය මඟින් තාප කම්පන චක්‍ර ගණන 5,000 ගුණයකට වඩා වැඩි කිරීමට හැකියාව ලැබේ (සාම්ප්‍රදායික නිෂ්පාදන සඳහා 1,500 ගුණයකටත් අඩු).

අඛණ්ඩ මෙහෙයුම් උෂ්ණත්වය 1650°C දක්වා ළඟා විය හැකි අතර, ආලේපනයේ ඉරිතැලීම් හෝ පීල් වීමක් නොපෙන්වයි.

2. ශුන්‍ය දූෂණ සහතිකය

SiC ආලේපනයේ සංශුද්ධතාවය 6N ශ්‍රේණියයි (මුළු ලෝහ අපද්‍රව්‍ය ප්‍රමාණය < 0.5ppm).

SEMI සම්මත අංශු මුදා හැරීමේ පරීක්ෂණය (10 පන්තියේ පිරිසිදුකම) සමත් විය.

3. තාප ක්ෂේත්‍ර ඒකාකාරිත්වය වැඩි දියුණු කිරීම

පාදක පෘෂ්ඨයේ උෂ්ණත්ව වෙනස ±2°C ට වඩා අඩුය (Φ300mm පිරිවිතර සඳහා මනින ලද දත්ත).

තාප විරූපණයකින් තොරව වේගවත් උණුසුම (20°C/s) සඳහා සහය දක්වයි.

4. විශිෂ්ට විඛාදන ප්රතිරෝධය

මාස 18 කට වැඩි සේවා කාලයක් සහිත, H2, NH3 සහ TMAl වැනි වායූන් මගින් විඛාදනයට ප්‍රතිරෝධී වේ.

මතුපිට රළුබව වෙනස් වීමේ අනුපාතය 5% ට වඩා අඩුය (ක්‍රියාවලි චක්‍ර 100 කට පසුව පරීක්ෂා කරන ලදී).

5. ලොව පුරා ප්‍රධාන ධාරාවේ මාදිලි සමඟ අනුකූල වේ

50 සිට 500mm දක්වා විෂ්කම්භයන් අභිරුචිකරණයට සහය දක්වයි.

6. පූර්ණ ජීවන චක්‍ර පිරිවැය ප්‍රශස්තිකරණය

නඩත්තු චක්‍රය සාමාන්‍ය නිෂ්පාදන මෙන් තුන් ගුණයකින් දීර්ඝ කර ඇත.

එපිටැක්සියල් වේෆර් වල අස්වැන්න අනුපාතය 2-3% කින් වැඩි වී ඇත.

සමාගමේ ශක්තිය

Semixlab Technology Co.,Ltd සතුව පර්යේෂණ සහ සංවර්ධන මධ්‍යස්ථාන 2ක්, නිෂ්පාදන කඳවුරු 2ක්, නිෂ්පාදන මාර්ග 12ක්, සේවකයින් 150+ක් සහ පර්යේෂණ සහ සංවර්ධන ආයෝජන ගිණුම් 30%කට වඩා ඇත. අපගේ නිෂ්පාදන පිරිසැලසුම ප්‍රධාන වශයෙන් LED, IC ඒකාබද්ධ පරිපථ, තුන්වන පරම්පරාවේ අර්ධ සන්නායක, ප්‍රකාශ වෝල්ටීයතා සහ අනෙකුත් කර්මාන්තවල භාවිතා වේ. Semixlab සතුව ශක්තිමත් පර්යේෂණ සහ සංවර්ධන, නිෂ්පාදන සහ ඒකාබද්ධ පරීක්ෂණ සහ සත්‍යාපන හැකියාවන් ඇත. ඒ සමඟම, අපි වසරකට මිලියන දස දහස් ගණනක ආයෝජනයක් සමඟ අපගේ තාක්ෂණය සහ උපකරණ නිරන්තරයෙන් වැඩිදියුණු කරමින් සිටිමු.

ප්‍රධාන කාර්ය සාධන පරාමිතීන්

ව්‍යාපෘති පරාමිතීන්

මූලික ද්‍රව්‍යය SGL සමස්ථානික සම්පීඩිත මිනිරන් වේ.

ආලේපන ඝණකම: 80-200μm (අභිරුචිකරණය කළ හැකි)

ආලේපනයේ සංශුද්ධතාවය ≥99.9999% කි.

ඝනත්වය: 1.85-1.90 g/cm³

තාප සන්නායකතාවය: 125 W/m·K (RT)

නම්‍යශීලී ශක්තිය ≥45 MPa

මෙහෙයුම් උෂ්ණත්වය ≤1800°C (නිෂ්ක්‍රීය වායුගෝලය)

තත්ත්ව සහතික පද්ධතිය

සම්පූර්ණ ක්‍රියාවලි සොයාගැනීමේ හැකියාව: මිනිරන් උපස්ථරයේ සිට ආලේපන ක්‍රියාවලිය දක්වා සම්පූර්ණ දත්ත පටිගත කිරීම.

නිරවද්‍යතා හඳුනාගැනීම: SEM/EDS ආලේපන විශ්ලේෂණය, හීලියම් ස්කන්ධ වර්ණාවලීක්ෂමිතික කාන්දු හඳුනාගැනීම, අධි-උෂ්ණත්ව තාප කම්පන පරීක්ෂාව.

CVD SiC ආලේපනයේ මූලික භෞතික ගුණාංග:

යෙදුම් අවස්ථා හෝ උපකරණ: Aixtron Epi උපකරණ

මූලික යෙදුම් අවස්ථා

● LED චිප නිෂ්පාදනය: GaN නිල්/සුදු LED එපිටැක්සියල් වර්ධනය.

● බල අර්ධ සන්නායක: SiC/GaN බල උපාංග (MOSFET, HEMT).

● 5G රේඩියෝ සංඛ්‍යාත උපාංග: අධි සංඛ්‍යාත ක්ෂුද්‍ර තරංග රේඩියෝ සංඛ්‍යාත චිප උපස්ථරය.

● ලේසර් ඩයෝඩය: VCSEL, දාර-විමෝචක ලේසර් එපිටැක්සියල් ක්‍රියාවලිය.

● උසස් ඇසුරුම්කරණය: ඉහළ නිරවද්‍යතාවයකින් යුත් අර්ධ සන්නායක තුනී පටල තැන්පත් කිරීම.

අර්ධ සන්නායක චිප එපිටැක්සි කර්මාන්ත දාමයේ දළ විශ්ලේෂණය: