CVD ටැන්ටලම් කාබයිඩ් (TaC) ආලේපනය

TaC ආලේපනය සාමාන්‍යයෙන් සලකා බලනු ලබන්නේ SiC එහි සීමාවන්ට ළඟා වීමට පටන් ගත් විටය. මෙය බොහෝ විට සිදුවන්නේ උෂ්ණත්වය සහ ක්‍රියාවලි වායුගෝලය යන දෙකම වැඩි ඉල්ලුමක් ඇති SiC එපිටැක්සි හෝ ස්ඵටික වර්ධනයේදීය.

ඉතා ඉහළ ද්‍රවාංකයක් සහිතව, TaC, විශේෂයෙන් හයිඩ්‍රජන් හෝ HCl සහිත පරිසරවල, දිගු අධි උෂ්ණත්ව නිරාවරණය වඩා හොඳින් හසුරුවයි. ප්‍රායෝගිකව, මෙය PVT වර්ධනය වැනි ක්‍රියාවලීන්හි වෙනසක් ඇති කරයි, එහිදී තාප ස්ථායිතාව ස්ඵටික ගුණාත්මක භාවයට සෘජුවම බලපායි.

සාමාන්‍ය යෙදුම් අතරට ප්‍රවාහ මාර්ගෝපදේශක වළලු, බීජ රඳවනයන්, කබොල ආශ්‍රිත කොටස් සහ තාප ක්ෂේත්‍රය තුළ ඇති අනෙකුත් ව්‍යුහයන් ඇතුළත් වේ. මෙම සංරචක දිගු කාලයක් තිස්සේ කටුක තත්වයන්ට නිරාවරණය වන බැවින්, පිරිහීම අඩු කිරීම වැදගත් වේ. සමහර සැකසුම් වලදී, TaC ක්‍රමයෙන් pBN වැනි පැරණි ද්‍රව්‍ය සහ සමහර SiC-ආලේපිත කොටස් පවා ප්‍රතිස්ථාපනය කරයි, නමුත් මෙය තවමත් පිරිවැය සහ ක්‍රියාවලි සැලසුම මත රඳා පවතී.