EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
අර්ධ සන්නායක ක්වාර්ට්ස් ස්නානය
ක්ෂණික විස්තර:
1. වෙනත් නම්: අර්ධ සන්නායක ක්වාර්ට්ස් ටැංකිය, අර්ධ සන්නායක සඳහා ක්වාර්ට්ස් ස්නානය, අර්ධ සන්නායක සඳහා ක්වාර්ට්ස් ටැංකිය.
2.යෙදුම: අර්ධ සන්නායක ක්වාර්ට්ස් ස්නානය යනු අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේ නිරවද්ය පිරිසිදු කිරීම සහ රසායනික සැකසුම් සඳහා විශේෂයෙන් නිර්මාණය කරන ලද ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත්, විඛාදනයට ඔරොත්තු දෙන සංරචකයකි. WS-620C/ WS-820C/ WS-820L පද්ධතිය සමඟ අනුකූල වීම සඳහා නිර්මාණය කර ඇති මෙම ක්වාර්ට්ස් ස්නානය ඉහළ උෂ්ණත්ව තත්ත්වයන් යටතේ (175°C දක්වා) ක්රියාත්මක වන අතර පොස්පරික් අම්ල (H₃PO₄) ද්රාවණ සමඟ භාවිතය සඳහා ප්රශස්තිකරණය කර ඇති අතර, තීරණාත්මක වේෆර් පිරිසිදු කිරීමේ ක්රියාවලීන්හි සුවිශේෂී කාර්ය සාධනය සහතික කරයි.
3. මූලික පරාමිතීන්:
ෆියුස්ඩ් ක්වාර්ට්ස් (>99.99% SiO₂).
ඉහළ උෂ්ණත්වවලදී H₃PO₄ (පොස්පරික් අම්ලය) ට සුවිශේෂී රසායනික නිෂ්ක්රීයතාව, පිරිහීම හෝ අංශු උත්පාදනය වළක්වයි.
160°C සහ 175°C උපරිම උෂ්ණත්වයකදී අඛණ්ඩ ක්රියාකාරිත්වයට ඔරොත්තු දෙන අතර, ව්යුහාත්මක අඛණ්ඩතාව සහ මාන ස්ථායිතාව පවත්වා ගනී.
විස්තර
අර්ධ සන්නායක ක්වාර්ට්ස් ස්නානය යනු අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේ නිරවද්ය පිරිසිදු කිරීම සහ රසායනික සැකසුම් සඳහා විශේෂයෙන් නිර්මාණය කරන ලද ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත්, විඛාදනයට ඔරොත්තු දෙන සංරචකයකි. WS-620C/ WS-820C/ WS-820L පද්ධතිය සමඟ අනුකූල වීම සඳහා නිර්මාණය කර ඇති මෙම ක්වාර්ට්ස් ස්නානය ඉහළ උෂ්ණත්ව තත්ත්වයන් යටතේ (175°C දක්වා) ක්රියාත්මක වන අතර පොස්පරික් අම්ල (H₃PO₄) විසඳුම් සමඟ භාවිතය සඳහා ප්රශස්තිකරණය කර ඇති අතර, තීරණාත්මක වේෆර් පිරිසිදු කිරීමේ ක්රියාවලීන්හි සුවිශේෂී කාර්ය සාධනය සහතික කරයි.
මූලික ලක්ෂණ
ද්රව්යමය උසස් බව
අධි-සංශුද්ධතා ක්වාර්ට්ස්: කෘතිම විලයන ක්වාර්ට්ස් (> 99.99% SiO₂) වලින් නිෂ්පාදනය කර ඇති අතර, අවම දූෂණයක් සහ තාප කම්පනයට ප්රතිරෝධයක් සහතික කරයි.
අම්ල ප්රතිරෝධය
ඉහළ උෂ්ණත්වවලදී H₃PO₄ (පොස්පරික් අම්ලය) ට සුවිශේෂී රසායනික නිෂ්ක්රීයතාව, පිරිහීම හෝ අංශු උත්පාදනය වළක්වයි.
තාප ස්ථායිතාව
160°C සහ 180°C උපරිම උෂ්ණත්වයකදී අඛණ්ඩ ක්රියාකාරිත්වයට ඔරොත්තු දෙන අතර, ව්යුහාත්මක අඛණ්ඩතාව සහ මාන ස්ථායිතාව පවත්වා ගනී.
කාර්ය සාධන ප්රතිලාභ
දූෂණය පාලනය: අතිශය සුමට මතුපිට නිමාව අංශු ඇලවීම අවම කරයි, එය උප-මයික්රෝන අර්ධ සන්නායක නෝඩ් ක්රියාවලීන් සඳහා ඉතා වැදගත් වේ.
කල්පැවැත්ම: අම්ල විඛාදනයට සහ තාප තෙහෙට්ටුවට ක්වාර්ට්ස් වල ප්රතිරෝධය සේවා කාලය දීර්ඝ කරයි, අක්රීය කාලය සහ නඩත්තු වියදම් අඩු කරයි.
ක්රියාවලි අනුකූලතාව: ස්ථායී තාප සන්නායකතාවය ඒකාකාර උෂ්ණත්ව ව්යාප්තිය සහතික කරයි, පිරිසිදු කිරීමේ කාර්යක්ෂමතාව සහ පුනරාවර්තන හැකියාව වැඩි දියුණු කරයි.
Semixlab හි අර්ධ සන්නායක ක්වාර්ට්ස් ස්නානය තෝරා ගන්නේ ඇයි?
අර්ධ සන්නායක-ශ්රේණියේ ගුණාත්මකභාවය: SEMI ප්රමිතීන් සපුරාලීම සඳහා පිරිසිදු කාමර පරිසරයක නිෂ්පාදනය කෙරේ.
සකස් කළ විසඳුම්: නිශ්චිත ක්රියාවලි අවශ්යතාවලට ගැලපෙන පරිදි අභිරුචි නිර්මාණ තිබේ.
විශ්වසනීයත්වය: දැඩි තත්ත්ව පරීක්ෂාව අර්ධ සන්නායක කර්මාන්ත ඉල්ලීම් සමඟ අනුකූල වීම සහතික කරයි.
පිරිවිතර
| යාන්ත්රික දේපල | ඝනත්වය (g/cm3) | 2.2 |
| මෝහ්ස් දෘ ness තාව | 6-7 | |
| සම්පීඩ්යතා ශක්තිය (MPa) | 1100 | |
| ආතන්ය ශක්තිය (N/mm)2) | 50 | |
| නම්යශීලී ශක්තිය (N/mm)2) | 65 | |
| ව්යවර්ථ ශක්තිය (N/mm)2) | 30 | |
| යංගේ මාපාංකය (MPa) | 7.2x104 | |
| Poisson අනුපාතය | 0.16 | |
| තාප ගුණාංග | තාප ප්රසාරණ සංගුණකය (20~320℃,k-1) | 5.5x10-7 |
| තාප සන්නායකතාවය (20℃,W·m-1k-1) | 1.4 | |
| නිශ්චිත තාපය (20℃, J·kg-1k-1) | 670 | |
| මෘදු කිරීමේ ලක්ෂ්යය (℃) | 1700 | |
| උත්පාදක ලක්ෂ්යය (℃) | 1180 | |
| වික්රියා ලක්ෂ්යය (℃) | 1080 | |
| විදුලි දේපල | විද්යුත් ප්රතිරෝධකතාව (Ω·m) | 1x1016(20 ℃) |
| ද්වි විද ත් නියතය (10GHz) | 3.74 | |
| ද්වි විද ත් අලාභය (10GHz) | 0.0002 | |
| ද්වි විද ත් ශක්තිය (V·m)-1) | 3.7x107 |
අයදුම්පත්
වේෆර් පිරිසිදු කිරීම: H₃PO₄-පාදක ද්රාවණවලින් පසු කැටයම් කිරීම හෝ ලිතෝග්රැෆි කිරීමෙන් පසු ඒවායේ ඇති ප්රභා ප්රතිරෝධක, අපද්රව්ය සහ දූෂක ඉවත් කිරීම.
ඉහළ-උෂ්ණත්ව ක්රියාවලීන්: ඉහළ උෂ්ණත්වවලදී ආක්රමණශීලී රසායන විද්යාවක් අවශ්ය වන උසස් අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන පියවර සඳහා සුදුසු වේ.
අනුකූලතාව: තර්කනය, මතකය හෝ බල උපාංග නිපදවන ෆැබ් වල WS-620C/ WS-820C/ WS-820L පද්ධතිය සඳහා වඩාත් සුදුසුය.
