ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් SiC බෝට්ටුව

අධි-සංශුද්ධතා සිලිකන් කාබයිඩ් (SiC) බෝට්ටුව යනු ඉහළ උෂ්ණත්ව අර්ධ සන්නායක ක්‍රියාවලීන්, ස්ඵටික වර්ධනය සහ නිරවද්‍ය තාප පිරියම් කිරීම සඳහා නිර්මාණය කර ඇති ඉහළ කාර්යසාධනයක් සහිත සෙරමික් වාහකයකි. එය අතිශය ඉහළ සංශුද්ධතා SiC ද්‍රව්‍යයකින් සින්ටර් කර ඇති අතර විශිෂ්ට ඉහළ උෂ්ණත්ව ප්‍රතිරෝධයක්, තාප කම්පන ප්‍රතිරෝධයක් සහ රසායනික ස්ථායිතාවයක් ඇත. එය අර්ධ සන්නායක විසරණය, CVD, LED එපිටැක්සි සහ ප්‍රකාශ වෝල්ටීයතා තනි ස්ඵටික වර්ධනය සඳහා බහුලව භාවිතා වේ.

අයදුම්පත:

අධි සංශුද්ධතාවය SiC බෝට්ටුව යනු ප්‍රධාන අර්ධ සන්නායක ක්‍රියාවලියක් වන අතර එය පරිභෝජනය කළ හැකි අතර, ප්‍රධාන වශයෙන් ඉහළ උෂ්ණත්ව පරිසරයන්හි වේෆර් රැගෙන යාමට සහ මාරු කිරීමට භාවිතා කරන අතර සිලිකන් වේෆර් විසරණය, ඔක්සිකරණය, ඇනීලිං සහ CVD ක්‍රියාවලීන්හි බහුලව භාවිතා වේ. එය විශේෂයෙන් තුන්වන පරම්පරාවේ අර්ධ සන්නායක (SiC/GaN වැනි) සහ බල උපාංගවල ඉහළ උෂ්ණත්ව ක්‍රියාවලීන් සඳහා සුදුසු වේ.

ලබා දිය හැකි සේවාවන්:

පාරිභෝගික යෙදුම් අවස්ථා විශ්ලේෂණය, ගැලපෙන ද්‍රව්‍ය, තාක්ෂණික ගැටළු විසඳීම.

සමාගම් පැතිකඩ:

Semixlab සතුව රසායනාගාර 2ක් ඇති අතර, වසර 20ක ද්‍රව්‍යමය අත්දැකීම් ඇති, පර්යේෂණ සහ සංවර්ධන සහ නිෂ්පාදන, පරීක්ෂණ සහ සත්‍යාපන හැකියාවන් ඇති විශේෂඥ කණ්ඩායමක් ඇත.

තාක්ෂණික පරාමිතීන්

ප්රධාන යෙදුම් ක්ෂේත්ර

පාරිසරික දාම සත්‍යාපන සහතික කිරීම

Semixlab High-Purity SiC බෝට්ටුවේ පාරිසරික දාම සත්‍යාපනය නිෂ්පාදනය සඳහා අමුද්‍රව්‍ය ආවරණය කරයි, ජාත්‍යන්තර ප්‍රමිති සහතිකය සමත් වී ඇති අතර අර්ධ සන්නායක සහ නව බලශක්ති ක්ෂේත්‍රවල එහි විශ්වසනීයත්වය සහ තිරසාරභාවය සහතික කිරීම සඳහා පේටන්ට් බලපත්‍රලාභී තාක්ෂණයන් ගණනාවක් ඇත.

සාමාන්‍ය අයදුම් කිරීමේ ක්‍රියාවලිය

අමුද්‍රව්‍ය සකස් කිරීම (ඉහළ සංශුද්ධතාවයෙන් යුත් SiC කුඩු) → සැකසීමේ ක්‍රියාවලිය (වියළි සම්පීඩනය/සමස්ථානික සම්පීඩනය) → සින්ටර් කිරීමේ ක්‍රියාවලිය → යන්ත්‍රෝපකරණ සහ මතුපිට නිමාව (CNC ඇඹරීම/ඔප දැමීම, රසායනික කැටයම් කිරීම, ඇනීලිං) → පිරිසිදු කිරීම සහ CVD ආලේපනය → තත්ත්ව පාලනය → ඇසුරුම් කිරීම

අති නවීන ක්‍රියාවලි පරාමිති ප්‍රශස්තිකරණය හරහා, Semixlab අධි-පිරිසිදු SiC බෝට්ටුවේ අද්විතීය ව්‍යුහාත්මක සැලසුම අංශු දූෂණය වීමේ අවදානම සැලකිය යුතු ලෙස අඩු කරන අතරම විශිෂ්ට වේෆර් ස්ථායිතාවයක් සහතික කරයි. එහි සේවා කාලය සාම්ප්‍රදායික ක්වාර්ට්ස් බෝට්ටු වලට වඩා 5-8 ගුණයකට ළඟා විය හැකි අතර, එය ඉහළ උෂ්ණත්ව වේෆර් සැකසුම් සඳහා කදිම වාහක විසඳුමක් බවට පත් කරයි. මෙම නවෝත්පාදනය අර්ධ සන්නායක වෙළඳපොලේ ආනයන ක්‍රමයෙන් ප්‍රතිස්ථාපනය කිරීමට හැකියාව ලබා දෙන අතර, ඉහළ කාර්ය සාධනයක් සහිත, පිරිවැය-ඵලදායී දේශීය විසඳුමක් සපයයි.

සවිස්තරාත්මක තාක්ෂණික පිරිවිතර, ධවල පත්‍රිකා හෝ නියැදි පරීක්ෂණ සැකසුම් සඳහා, Semixlab ඔබේ ක්‍රියාවලි කාර්යක්ෂමතාව වැඩි දියුණු කරන්නේ කෙසේදැයි ගවේෂණය කිරීමට කරුණාකර අපගේ තාක්ෂණික සහාය කණ්ඩායම අමතන්න.

Semixlab අධි-පිරිසිදු SiC බෝට්ටු මූලික වාසි

1. අතිශයින්ම සංශුද්ධතාවය (ප්‍රධාන වාසිය)

Semixlab High-Purity SiC බෝට්ටුවේ අතිශය ඉහළ සංශුද්ධතාවයක් (≥99.9999%) ඇති අතර, SiC/GaN අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනය සඳහා විශේෂයෙන් සුදුසු වේෆර් හෝ එපිටැක්සියල් ද්‍රව්‍ය දූෂණය වීම වැළැක්වීම සඳහා අපිරිසිදු අන්තර්ගතය (Fe, Al, Na, ආදිය) 1 ppm මට්ටමින් පාලනය කෙරේ.

2. රසායනික නිෂ්ක්‍රීය බව (විඛාදන ප්‍රතිරෝධය)

අම්ල, ක්ෂාර/ප්ලාස්මා ඛාදනයට ප්‍රතිරෝධී වන අතර HF, HCl, H2 (අර්ධ සන්නායක කැටයම් ක්‍රියාවලීන් වැනි) වැනි විඛාදන වායුවලට ප්‍රතිරෝධී විය හැකිය. ඉහළ උෂ්ණත්වවලදී වායු මුදා හැරීමක් සිදු නොවේ.

3. යාන්ත්‍රික ශක්තිය සහ ආයු කාලය

අතිශය ඉහළ දෘඪතාව, විශිෂ්ට ඇඳුම් ප්‍රතිරෝධය, අංශු වැගිරීමේ අවදානම අඩු කරයි, සහ සේවා කාලය දීර්ඝ කරයි (සාමාන්‍යයෙන් ක්වාර්ට්ස් බෝට්ටුවක මෙන් 3 සිට 5 ගුණයක්). ඉහළ උෂ්ණත්වවලදී පහසුවෙන් විකෘති නොවේ, වේෆර් පැතලි බව පවත්වා ගනී (විසරණ උදුනක යුධ පිටුව වැනි <0.1mm).

4. ක්‍රියාවලි අනුකූලතාව

විවිධ කටුක පරිසරයන්ට, ඔක්සිකරණ/අඩු කිරීමේ වායුගෝල (O2, H2, Ar වැනි) සහ CVD/PVD ආලේපන ක්‍රියාවලීන්ට අනුවර්තනය විය හැකිය. දූෂණය තවදුරටත් අඩු කිරීම සඳහා මතුපිට ඔප දැමීම (Ra<0.1μm) හෝ ආලේපනය (SiO2 වැනි) වැනි අභිරුචිකරණය කළ හැකිය.