ICP කැටයම් කිරීම සඳහා SiC තහඩුව

විශේෂාංග අවශ්‍යතා: ඉල්ලුමක් ඇති ප්ලාස්මා පරිසරයන් සඳහා ප්‍රශස්තිකරණය කර ඇත.

ICP කැටයම් පරිසරයන්හි දැඩි ඉල්ලීම් සපුරාලීම සඳහා, SiC තහඩුව පහත සඳහන් මූලික ලක්ෂණ වලින් සමන්විත විය යුතුය:

● විශිෂ්ට තාප සන්නායකතාව

SiC හි තාප සන්නායකතාවය අතිශයින් ඉහළ වන අතර එය ක්වාර්ට්ස් හෝ ඇලුමිනා වැනි සාම්ප්‍රදායික ද්‍රව්‍යවලට වඩා බෙහෙවින් වැඩි ය. මෙයින් අදහස් කරන්නේ කැටයම් කිරීමේ ක්‍රියාවලියේදී ජනනය වන තාපය වේෆරයෙන් ඉවතට කාර්යක්ෂමව සන්නයනය කළ හැකි බවත්, දේශීය අධික උනුසුම් වීම ඵලදායී ලෙස වළක්වන බවත්ය.

ප්රතිලාභ: වේෆර් මතුපිට පුරා ඒකාකාර උෂ්ණත්වයක් සහතික කිරීම, එහි ප්‍රතිඵලයක් ලෙස ඉතා ස්ථාවර එච් ගැඹුර සහ තීරණාත්මක මාන (CD) පාලනය, අස්වැන්න සැලකිය යුතු ලෙස වැඩි දියුණු කිරීම සහ වේෆර් සීරීම් අඩු කිරීම.

● සුපිරි ප්ලාස්මා කම්පන ප්‍රතිරෝධය

ICP කැටයම් කිරීමේ ප්ලාස්මා පරිසරයේදී, ද්‍රව්‍යය අධි ශක්ති අයන බෝම්බ හෙලීමට සහ ක්‍රියාකාරී නිදහස් රැඩිකලුන් වල රසායනික විඛාදනයට මුහුණ දෙනු ඇත. SiC හි විශිෂ්ට ප්ලාස්මා ප්‍රතිරෝධයක් ඇත, විශේෂයෙන් ෆ්ලෝරීන් හෝ ක්ලෝරීන් අඩංගු කැටයම් වායු වල.

ප්රතිලාභ: වේෆර් වාහකයේ සේවා කාලය විශාල ලෙස දීර්ඝ කිරීම, ප්‍රතිස්ථාපන සංඛ්‍යාතය සහ අක්‍රිය කාලය අඩු කිරීම, එමඟින් මෙහෙයුම් පිරිවැය අඩු කිරීම සහ උපකරණ භාවිතය වැඩි දියුණු කිරීම. ඒ සමඟම, ස්ථාවර ද්‍රව්‍ය ගුණාංග අංශු දූෂණය වීමේ අවදානම ද අඩු කරයි.

● කැපී පෙනෙන උෂ්ණත්ව ඒකාකාරිත්වය

එහි ඉහළ තාප සන්නායකතාවය සහ අඩු තාප ප්‍රසාරණ සංගුණකය සමඟ ඒකාබද්ධව, SiC වාහකයන්ට මුළු වේෆර් මතුපිට පුරා විශිෂ්ට උෂ්ණත්ව ඒකාකාරිත්වය පවත්වා ගැනීමට හැකි වේ. මෙය නිරවද්‍ය කැටයම් කිරීම සඳහා ඉතා වැදගත් වේ, විශේෂයෙන් GaN වැනි සංවේදී ද්‍රව්‍ය සඳහා.

ප්රතිලාභ: සෑම උපාංගයක් සඳහාම ස්ථාවර කැටයම් සහතික කිරීම, උපාංග කාර්ය සාධන වෙනස්කම් අවම කිරීම සහ ඔබේ LED නිෂ්පාදන සඳහා උසස් තත්ත්වය සහ විශ්වසනීයත්වය සැපයීම.

LED වේෆර් නිෂ්පාදනයේදී පුනරාවර්තනය කළ හැකි සහ නිරවද්‍ය කැටයම් ලබා ගැනීම සඳහා මෙම කාර්ය සාධන ලක්ෂණ අත්‍යවශ්‍ය වේ.

Semixlab තෝරා ගන්නේ ඇයි: සකස් කළ විසඳුම්. විශ්වාසදායක ගුණාත්මකභාවය

Semixlab තෝරා ගැනීම යනු ඔබ කාර්ය සාධනය, විශ්වසනීයත්වය සහ අභිරුචිකරණය කළ සේවාවන් තෝරා ගැනීමයි:

1. විවිධ පිරිවිතරයන් ලබා ගත හැකි අතර, අභිරුචිකරණය කළ සේවාවන් සපයනු ලැබේ:

විවිධ ICP කැටයම් උපකරණ සහ ක්‍රියාවලීන් වේෆර් වාහක ප්‍රමාණය, සිදුරු පිහිටීම සහ කලම්ප ක්‍රමය සඳහා අනන්‍ය අවශ්‍යතා ඇති බව අපි හොඳින් දනිමු. ප්‍රධාන ධාරාවේ වෙළඳපල අවශ්‍යතා සපුරාලීම සඳහා Semixlab SiC වේෆර් වාහක සඳහා විවිධ සම්මත පිරිවිතරයන් සපයයි.

වඩාත් වැදගත් දෙය නම්, අපි වෘත්තීය අභිරුචිකරණ සේවා සපයන්නෙමු. ඔබට විශේෂ ප්‍රමාණ, සංකීර්ණ ව්‍යුහාත්මක සැලසුම් හෝ නිශ්චිත ක්‍රියාවලීන් සඳහා ප්‍රශස්තිකරණය අවශ්‍ය වුවද, අපගේ ඉංජිනේරු කණ්ඩායමට ඔබ සමඟ සමීපව කටයුතු කර ඔබට ගැලපෙන විසඳුම් ලබා දිය හැකිය. මෙයින් අදහස් කරන්නේ නිෂ්පාදන කාර්යක්ෂමතාව සහ අස්වැන්න උපරිම කරමින් ඔබේ උපකරණ සහ ක්‍රියාවලියට පරිපූර්ණව ගැලපෙන වාහකයක් ඔබට ලබා ගත හැකි බවයි.

2. ස්ථාවර ගුණාත්මකභාවය සහ වේගවත් බෙදාහැරීම

අපගේ දැඩි තත්ත්ව පාලන පද්ධතිය කාණ්ඩ හරහා අනුකූලතාව සහතික කරන අතර, අපගේ කාර්යක්ෂම නිෂ්පාදන සහ සැපයුම් මඟින් වේගවත් ඉදිරි කාලයන් සහතික කරන අතර, ඔබට දැඩි නිෂ්පාදන කාලසටහන් සපුරාලීමට උපකාරී වේ.

උසස් ප්ලාස්මා කැටයම් කිරීමේ ඔබේ SiC ද්‍රව්‍ය සහකරු - Semixlab විශ්වාස කරන්න.

අර්ධ සන්නායක ආලේපන කර්මාන්තයේ වසර ගණනාවක අත්දැකීම් සමඟින්, Semixlab ගැඹුරු ද්‍රව්‍ය විශේෂඥතාව, අති නවීන සැකසුම් සහ පාරිභෝගික කේන්ද්‍රීය සේවාව ඒකාබද්ධ කර ක්‍රියාවලි ස්ථායිතාව සහ නිෂ්පාදන ගුණාත්මකභාවය වැඩි දියුණු කරන සංරචක ලබා දෙයි.

යෙදුම: LED කර්මාන්තයේ ICP කැටයම් කිරීම සඳහා නිර්මාණය කර ඇත.

දියුණු LED නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලියේදී, අර්ධ සන්නායක වේෆර් මත නිරවද්‍ය ක්ෂුද්‍ර රටා ලබා ගැනීම සඳහා ICP (ප්‍රේරක ලෙස සම්බන්ධ වූ ප්ලාස්මා) කැටයම් කිරීම තීරණාත්මක පියවරකි. ICP කැටයම් කිරීමේ ක්‍රියාවලියේදී සෙමික්ස්ලැබ් හි SiC තහඩුව ඉතා විශ්වාසදායක වේෆර් වාහකයක් හෝ රඳවනයක් ලෙස ක්‍රියා කරයි. එහි ශක්තිමත් ද්‍රව්‍ය ගුණාංග ආන්තික ප්ලාස්මා තත්වයන් යටතේ පවා ක්‍රියාවලි ස්ථායිතාව සහතික කරයි, එය ඉහළ අස්වැන්නක්, ඉහළ ඒකාකාරී LED නිෂ්පාදන රේඛා සඳහා අත්‍යවශ්‍ය අංගයක් බවට පත් කරයි.